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目次はこんな感じ

  • 第1章 薄膜とは
  • 第2章 薄膜作製技術の基礎
  • 第3章 真空蒸着法
  • 第4章 スパッタリング法
  • 第5章 化学気相成長法
  • 第6章 薄膜の評価技術
  • 第7章 薄膜作製技術の応用
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レビュー

内容(「BOOK」データベースより)


コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の1つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。


内容(「MARC」データベースより)


コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。


著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)


草野 英二
1983年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。同年日本板硝子(株)に入社。筑波研究所に配属。1985年から1987年まで、Visiting Research Scientistとして、University of Illinoisに滞在し、Prof.Thorntonのもとでスパッタリングの研究に従事。91年、同社事業開発部磁気ディスクグループに異動。94年3月東京大学より、博士(工学)授与。94年、(株)曲げグラスセンター出向。95年、同社を退社し、金沢工業大学工学部助教授。2001年同教授。04年から日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。93年および01年にスパッタリングおよびプラズマプロセスに関する国際会議実行委員会委員長など。主に薄膜作製プロセスの分野で活躍(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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